[10/4至10/6举办]Tetsuya Yamamoto教授将参加“第八届日本陶瓷展”

"第八届日本陶瓷展（高性能陶瓷展）'',山本哲也教授（研究所材料设计中心）将以“反应等离子体沉积法：超薄膜形成、高速低温成膜、减少地层损伤”为主题进行展示。

日本陶瓷展是世界三大陶瓷展之一。这是全球最大的商业展览会之一，以高性能陶瓷（结构材料、功能材料、生物材料、耐火材料）、陶瓷涂料、制造设备、加工技术等为特色。

展会上，山本教授谈到了住友重工业株式会社和理学株式会社基于“直流电弧放电反应等离子体沉积（RPD）”的联合研究成果，这是一种改编自日本原创技术（压力梯度型高密度电弧等离子体枪和等离子体束控制器）的超薄膜沉积技术，特别是5纳米厚的薄膜。下面我们就来介绍一下超薄膜氧化物半导体。

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